страница7/17
Дата11.07.2018
Размер3.75 Mb.
ТипЛабораторная работа

Нелинейные задачи механики деформируемого твердого тела. Практикум


1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   ...   17
Раздел 2. Высокопроизводительные вычисления и особенности распараллеливания решения задач в системе ANSYS

Лабораторная работа № 7. Анализ акусто-электронного резонатора методом конечных элементов с использованием ANSYS. Пример выполнения высокопроизводительных вычислений

Введение

Новые технологии выращивания тонкопленочных пьезоструктур уже сейчас позволяют создавать СВЧ акустоэлектронные компоненты, работающие в диапазоне частот от 1 до 30 ГГц. К таким компонентам, прежде всего, относятся акустоэлектронные резонаторы на основе тонкопленочных пьезоструктур из нитрида алюминия, выращенных на подложках из кремния [1, 2]. Если говорить об одночастотных резонаторах, то для выделения резонансной частоты в таких резонаторах необходимо акустически изолировать тонкопленочную структуру от подложки. Такая изоляция может быть выполнена двумя способами. Первый ‑ создание под структурой воздушного зазора. Такой резонатор называется резонатор мембранного типа (FBAR, film bulk acoustic resonator) (рис. 1) [3].



Рис. 1. Резонатор с воздушным зазором.



Другой способ заключается в использовании структуры, смонтированной на подложке, в которой между резонатором и подложкой помещается акустический отражатель, служащий для изоляции акустических колебаний вне рабочей области резонатора (SMR-BAW ‑ Solidly Mounted Resonator - Bulk Acoustic Wave) (см. рис.2) [3].

Рис. Резонатор с акустическим отражателем

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   ...   17

Коьрта
Контакты

    Главная страница


Нелинейные задачи механики деформируемого твердого тела. Практикум